Professor Prof. Dr. Udo Schwalke Emeriti Prof. Dr. Hans Strack Prof. Dr. Werner Langheinrich Prof. Dr. Arno Kostka   Institut für   Halbleitertechnik und Nanoelektronik   Schlossgartenstr. 8   D-64289 Darmstadt   Telefon: (+49) 6151 16-4471   Fax: (+49) 6151 16-5233   www.iht.tu-darmstadt.de